本书根据微电子机械系统的发展趋势，主要介绍了常用的微系统制作工艺，并加入了部分超大规模集成电路工艺。...
2015.5
集成电路大类和电子工程大类本科专业强调对物理学基础知识的培养，然而在以往的教学实践中发现原有的课程的...