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大规模集成电路－集成电路工艺－等离子刻蚀
2017年
2017
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等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中的应用
系统性回顾了过去半个世纪干法蚀刻技术的演变，深入介绍了该技术的基本机理，在逻辑产品和闪存产品中的具体...
2018.
按中图号分类
中图号G634
25127
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14837
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5354
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1527
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1413
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