莫锦秋, 梁庆华, 汪石刚, 编著
出版社：化学工业出版社
年代：2004
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本书主要介绍了微机电系统及其相关技术，对微机电系统的定义、起源及研究现状、制造技术、系统构成、设计技术进行介绍。
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微机电系统设计与制造是化学工业出版社于2004.03出版的中图分类号为 TM38 ,TH-39 的主题关于 微电机 的书籍。
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